紫外臭氧清洗機(jī)(UV-O3清洗機(jī))是利用紫外光和臭氧來清洗表面的設(shè)備。它在很多領(lǐng)域如半導(dǎo)體、光電子、生物醫(yī)藥等起著重要作用。紫外光位于可見光和X射線之間的電磁輻射波段，其波長范圍約為10納米到400納米。紫外光具有高能量和較短的波長，可以擊穿并分解分子的化學(xué)鍵，從而實(shí)現(xiàn)清洗作用。臭氧是一種具有強(qiáng)氧化性的氣體，常用符號為O3。當(dāng)臭氧與目標(biāo)表面接觸時(shí)，臭氧分解成氧和自由氧原子，這些原子能夠與去除污染物的表面發(fā)生反應(yīng)，從而清洗表面。
 

　　紫外臭氧清洗機(jī)的清洗過程：
 

　　a.加載物件：將待清洗的物件放置在清洗室中，通常采用無塵室或密閉式工作環(huán)境，以避免再次受到其他污染。
 

　　b.紫外輻照：打開紫外燈，使紫外光直接照射到物件表面。紫外光能夠通過分解和氧化的方式清除有機(jī)和無機(jī)污染物。
 

　　c.臭氧注入：打開臭氧發(fā)生器，將臭氧氣體引入清洗室。臭氧具有更強(qiáng)的氧化性，可以進(jìn)一步清除難以去除的污染物。
 

　　d.清洗周期：根據(jù)需要，設(shè)定清洗的時(shí)間和紫外光和臭氧的配比。在清洗過程中，紫外光和臭氧會不斷作用于物件表面。
 

　　e.排氣和通風(fēng)：清洗完成后，關(guān)閉紫外燈和臭氧發(fā)生器，排出清洗室中的殘余臭氧和其他廢氣，并進(jìn)行適當(dāng)?shù)耐L(fēng)換氣。
 

　　紫外臭氧清洗機(jī)能夠去除表面的有機(jī)物、雜質(zhì)等污染物，具有環(huán)保的特點(diǎn)。其清洗效果受多個(gè)因素影響，包括清洗時(shí)間、紫外光強(qiáng)度、臭氧濃度、物件表面性質(zhì)等。結(jié)合了紫外光和臭氧的作用，能夠清洗表面污染物。其原理簡單但功能強(qiáng)大，廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。